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真空设备电镀设备机械设备真空镀膜真空机

价格面议
品牌vakia产品/服务真空设备
主营产品真空镀膜机,真空镀膜设备,真空电镀设备,真空电镀机
关键词真空设备,电镀设备,机械设备,真空镀膜
面向地区 上海市

上海沃家真空设备科技有限公司

认证
联系人林先生
手机13918799959
联系电话021-57721278/57849215
联系地址上海 松江 上海市松江科技园区昆港公路888号光塑工业园
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详情描述

利用真空状态下弧光放电原理的离子镀膜技术,是率先发展起来的真空镀膜方式,具有沉积速率高、结合牢固、设备运行稳定等优点,我们在传统多弧的基础上,对靶结构、磁铁、冷却等进行了严格的改进和设计,提高了离化率、细化颗粒,膜层和基材结合更加牢固、膜层更加致密,硬度耐磨性显著提高,厚度可以控制在0.5微米—5微米之间,是普通装饰镀和工具镀膜的首选机型。
根据市场的需求公司研制出辅助阳极、磁过滤、矩形平面靶、圆柱旋转电弧靶等衍生产品,沉积的膜层达到纳米量级,是制备高硬度、高结合力、高耐膜性ta-C、DLC、高质量金属膜层的良好选择。




技术参数:




▲真空室箱体:主要规格有800*1000mm、1000*1200mm、1200*1500mm、1500*1600mm、1800*1950mm,并可以根据客户具体要求设计非标产品。

▲夹具方式:采用公自转行星式齿轮结构,工件速度在1-15转/分钟可调,挂具有6轴、8轴、10轴、12轴等各种规格,适合不同大小尺寸的装饰、工具镀膜。

▲控制气体方式:采用质量流量计控制,进气稳定,反应速度快,可以配加自动压强控制。

▲靶:采用整体制造技术,结构合理而简单,维护更换靶材方便,具有自动/手动引弧功能。

▲电源:配置直流脉冲电源(电压、占空比可调节),逆变电弧电源。

▲抽气系统:采用国产品牌机械泵、罗茨泵、扩散泵,根据其真空室大小确定合理型号。也可以根据客户的需要配备分子泵或者进口泵等。

▲抽真空参数:从大气抽至5*10 ̄3Pa≤15min极限真空度8*10 ̄4Pa控制系统可以选用手动控制;计算机控制,触摸屏面板控制。

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